特許
J-GLOBAL ID：200903039161256373
真空ポンプ制御装置および真空ポンプ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
川井 隆
, 仲野 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-280662
公開番号（公開出願番号）：特開2005-048641
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 ポンプ内部の温度をより高温に保持することが可能な真空ポンプ制御装置または真空ポンプ装置を提供すること。 【解決手段】 温度センサ25によってメモリ24の温度が検出され、その検出信号は、温度入力インターフェースを介して制御装置3に入力される。マイクロコンピュータ回路32において検出信号に基づいてメモリ24の温度が認識され、メモリ24の温度状態に対応した制御信号がポンプ制御回路33に出力される。そして、ポンプ制御回路33から、制御信号に基づいて真空ポンプ本体2の各部へ制御指示が出力される。詳しくは、メモリ24の温度が動作保証範囲外にある場合には、メモリ24への通電が遮断される。また、メモリ24へのアクセスの必要性が生じた場合には、メモリ24を冷却する指示が出力され、メモリ24が冷却された後にアクセスされる。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
吸気口から吸い込まれた気体を排気口まで移送する気体移送機構と、前記気体移送機構によって移送される気体の流路を加熱する加熱手段と、通電時において正常動作を保証する動作保証温度範囲が存在する記憶装置と、前記記憶装置の温度を検出する温度検出手段と、前記記憶装置を冷却する冷却手段とを備えた真空ポンプに対し、その制御を行う真空ポンプ制御装置であって、
前記温度検出手段によって検出された前記記憶装置の温度を取得する温度取得手段と、
前記記憶装置へのアクセスの必要性を判断するアクセス判断手段と、
前記取得温度が前記動作保証温度範囲外において前記アクセスが必要と判断された場合に、前記冷却手段に対して冷却を指示する冷却指示手段と、
少なくとも前記取得温度が前記動作保証温度範囲内であり、かつ前記アクセスが必要と判断された場合に前記記憶装置に対して通電状態とし、少なくとも前記動作保証温度範囲外である場合に非通電状態とする接断手段と、
前記アクセスが必要と判断され、前記接断手段により通電した後に前記記憶装置にアクセスするアクセス手段と、
を具備することを特徴とする真空ポンプ制御装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04D19/04 H
, F04D19/04 G
, F04D27/00 D
3H021AA02
, 3H021BA20
, 3H021BA22
, 3H021DA26
, 3H031DA02
, 3H031EA01
, 3H031EA11
, 3H031FA35
