特許
J-GLOBAL ID：200903039166792575
機械部品の表面処理方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-001715
公開番号（公開出願番号）：特開平9-195045
出願日： 1996年01月09日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】【課題】 機械部品の加工表面に形成された放電による加工変質層を除去して硬度と耐摩耗性を向上させる機械部品の表面処理方法及び装置を得る。【解決手段】 放電による加工変質層が表面に形成された機械部品に対し真空中でエネルギーが付与された荷電ビームを照射して上記加工変質層をスパッタ除去する除去工程、加工変質層が除去された機械部品の表面にハードコーティング膜を形成するコーティング工程、または、加工変質層が除去された機械部品の表面にイオンを加速注入するイオン注入工程、または、イオン注入された機械部品の表面にハードコーティング膜を形成するコーティング工程を有することにより、硬度と耐摩耗性が要求される機械部品とハードコーティング膜の密着性を高め、ハードコーティング膜を剥離しにくくし、また、硬い材料を加工したりするときでも摩耗量を少なくして、工具寿命を長くし精度良く部品を加工する。
請求項（抜粋）：
放電による加工変質層が表面に形成された機械部品に対し真空中でエネルギーが付与された荷電ビームを照射して上記加工変質層をスパッタ除去する除去工程と、加工変質層が除去された機械部品の表面にハードコーティング膜を形成するコーティング工程とを有する機械部品の表面処理方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
C23C 14/48 A
, C23C 14/06 A
, C23C 14/06 H
, C23C 14/06 N
