特許
J-GLOBAL ID:200903039167725529
液体噴射ヘッド及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
栗原 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-159487
公開番号(公開出願番号):特開2004-358796
出願日: 2003年06月04日
公開日(公表日): 2004年12月24日
要約:
【課題】振動板の破壊を防止すると共に、圧電素子の外部環境に起因する破壊を容易に且つ確実に防止し、製造工程を簡略化すると共に圧電素子の耐電圧を向上することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】流路形成基板10上に、圧電素子300から引き出されて当該圧電素子300の側面に連続する側面を有する引き出し配線90を複数並設し、圧力発生室12に相対向しない領域まで延設され且つ引き出し配線90の引き出し方向の少なくとも一部に交差して跨って並設された複数の引き出し配線90に当接する接着領域を具備する接合基板30を流路形成基板10に接着する際に、接着領域に設けられた接着剤を引き出し配線90に当接することにより、接着剤が引き出し配線90の側面に伝わって少なくとも圧電体層70の側面を接着剤で覆う。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられた振動板上に接着剤を介さずに成膜及びリソグラフィ法により形成された薄膜である下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接着された接合基板とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成基板上に、前記圧電素子から引き出されて当該圧電素子の側面に連続する側面を有する引き出し配線を複数並設し、前記圧力発生室に相対向しない領域まで延設され且つ前記引き出し配線の引き出し方向の少なくとも一部に交差して跨って並設された複数の前記引き出し配線に当接する接着領域を具備する前記接合基板を前記流路形成基板に接着する際に、前記接着領域に設けられた接着剤を前記引き出し配線に当接することにより、前記接着剤が前記引き出し配線の前記側面に伝わって少なくとも前記圧電体層の側面を前記接着剤で覆うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
FI (2件):
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
Fターム (16件):
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG52
, 2C057AG55
, 2C057AG75
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057AP34
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
引用特許:
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