特許
J-GLOBAL ID：200903039169284880
マイクロレンズ、マイクロレンズ一体型表面光レーザー及びそれらの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-040855
公開番号（公開出願番号）：特開2000-244056
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズ、マイクロレンズ一体型表面光レーザー及びそられの製造方法を提供する。【解決手段】 レンズの胴体をなす胴体部材と、胴体部材上にマイクロレンズが製造される部位が開口されるように設けられた蝕刻マスクの開口内に露出された胴体部材部分が拡散制御蝕刻により凸状に蝕刻されて形成されたマイクロレンズ曲面とを具備する。
請求項（抜粋）：
レンズの胴体をなす胴体部材と、前記胴体部材上にマイクロレンズが製造される部位が開口されるように設けられた蝕刻マスクの開口内に露出された胴体部材部分が拡散制御蝕刻により凸状に蝕刻されて形成されたマイクロレンズ曲面とを具備することを特徴とするマイクロレンズ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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