特許

J-GLOBAL ID：200903039171986795

欠陥検出方法及び装置

発明者： 味酒 安志 ,  興津 伸彦
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 真田 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-115327
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310917
出願日： 2001年04月13日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 欠陥検出方法及び装置に関し、比較的安価なアパチュア蛍光灯を照明装置として用いながらも十分な検出精度を確保できるようにする。【解決手段】 アパチュア蛍光灯2からの照射光が撮像カメラ3に直接入射しない範囲でアパチュア蛍光灯2の光軸を検査対象物1に対し垂直方向から水平方向に向けて斜めに傾けるとともに、アパチュア蛍光灯2により照射される検査対象物上の照射範囲Wの撮像カメラ側端部或いは端部近傍の所定範囲Wpに撮像カメラ3による視点Pを設定する。

請求項（抜粋）：

アパチュア蛍光灯から検査対象物に光を照射し、光照射された上記検査対象物の反射画像を撮像カメラで撮像し、撮像された画像情報に基づいて上記検査対象物の表面の欠陥を検出する方法であって、上記アパチュア蛍光灯からの照射光が上記撮像カメラに直接入射しない範囲で、上記アパチュア蛍光灯の光軸を上記検査対象物に対し垂直方向から水平方向に向けて斜めに傾けるとともに、上記アパチュア蛍光灯により照射される上記検査対象物上の照射範囲の上記撮像カメラ側の端部或いは上記端部近傍の所定範囲に、上記撮像カメラによる視点を設定することを特徴とする、欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/84 E ,  G01B 11/30 A

Fターム (34件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065CC31 ,  2F065DD02 ,  2F065DD04 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065GG03 ,  2F065GG16 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ43 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2F065UU03 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  2G051AB07 ,  2G051AB12 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02