生産分析において分類及び属性を拡張するソフトウエアシステム及び方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-518336
公開番号（公開出願番号）：特表2001-521249
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2001年11月06日
要約：

【要約】ソフトウエアシステムは生産データの分析において分類属性を拡張するために用いられる。レシピエディタ(810)はユーザがレシピフレームワーク(820)を作成することを可能とする。レシピはアプリケーションモジュール(840)を通じてデータセットフレームワーク(830)へ与えられ、グラフィックユーザインタフェース(GUI)フレームワーク(850)を用いて、ウィンドウ形式でページ(860)が生成される。レシピフレームワーク(820)は、未来の特定の時間において生産データ分析を自動的に実行及び発行するスケジューラ及びイベントサービス(870)にインタフェース接続される。ソフトウエアは、Windows環境では、ユーザがコンピュータのマウスでドラッグ・アンド・ドロップすることによって欠陥分類を追加することを可能とするため、より高い柔軟性で動作する。クラスタ分類が実行されるとき、選択された分類による非欠陥データを除去するために生産マップはフィルタリングされ、すると欠陥の属性は容易に可視となる。

請求項（抜粋）：

第1の属性を有する元の半導体クラスタ分類のテーブルネーム空間を確立する段階と、リストボックスから第2の属性を有する新しい半導体クラスタ分類を選択する段階と、上記テーブルネーム空間に上記選択された新しい分類を追加する段階と、上記テーブルネーム空間から上記新しい分類を選ぶ段階と、上記第2の属性を伴う上記新しい分類からのデータに対して分析ルーチンを実行する段階とを含む、半導体生産データを分析する方法。

IPC (3件)：

G06F 17/50 636 , H01L 21/02 , H01L 21/66

FI (4件)：

G06F 17/50 636 D , H01L 21/02 Z , H01L 21/66 Z , H01L 21/66 A

Fターム (13件)：

4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA27 , 4M106DH01 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 5B046AA08 , 5B046CA06 , 5B046DA01 , 5B046GA01 , 5B046HA05 , 5B046KA05

引用文献：

審査官引用 (1件)

Component-Based Visual Programming Environment for Cooperative Software Development

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