特許
J-GLOBAL ID：200903039175260250
ウエハの熱処理装置及び熱処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113616
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302534
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 熱処理装置内での酸化、拡散過程前にウエハを清浄な状態とすることが可能なウエハの熱処理装置及び熱処理方法を提供する。【構成】 ウエハを収納し、保持するためのウエハ収納部及びウエハを加熱処理するための加熱手段とを備える熱処理装置のウエハ収納部内にウエハ表面の付着物を除去するための洗浄剤を供給する洗浄剤供給手段を設けることにより、酸化、拡散過程前にウエハ表面を清浄化することができ、極めて高清浄度な酸化、拡散処理を行うことが可能となることから、デバイス特性が低下する要因を除去することができ、製品の性能及び信頼性を向上することができる。
請求項（抜粋）：
ウエハを収納し、保持するためのウエハ収納部と、前記ウエハを加熱処理するための加熱手段とを備える熱処理装置であって、前記ウエハ収納部内にウエハ表面の付着物を除去するための洗浄剤を供給する洗浄剤供給手段を有することを特徴とする熱処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/22
, H01L 21/304 341
, H01L 21/324
