特許

J-GLOBAL ID：200903039179879149

窒化アルミニウム質セラミックスおよび半導体製造用部材

発明者： ▲よし▼川 潤 ,  勝田 祐司
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 細田 益稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-330633
公開番号（公開出願番号）：特開2003-226580
出願日： 2002年11月14日
公開日（公表日）： 2003年08月12日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム質セラミックスの体積抵抗率を上昇させること。【解決手段】窒化アルミニウムの格子定数のa軸長が3.1120オングストローム以上、3.1200オングストローム以下であり、c軸長が4.9810オングストローム以上、4.9900オングストローム以下である。窒化アルミニウム質セラミックスの室温での体積抵抗率が1×1014Ω・cm以上である。あいは、窒化アルミニウム質セラミックスの500°Cでの体積抵抗率が1×108Ω・cm以上であり、700°Cでの体積抵抗率が1×107Ω・cm以上である。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムの格子定数のa軸長が3.1120オングストローム以上、3.1200オングストローム以下であり、c軸長が4.9810オングストローム以上、4.9900オングストローム以下であり、室温での体積抵抗率が1×1014Ω・cm以上であることを特徴とする、窒化アルミニウム質セラミックス。

IPC (4件)：

C04B 35/581 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/20 328 ,  H05B 3/74

FI (5件)：

H05B 3/10 C ,  H05B 3/20 328 ,  H05B 3/74 ,  C04B 35/58 104 Z ,  C04B 35/58 104 Y

Fターム (20件)：

3K034AA02 ,  3K034BA06 ,  3K034BA14 ,  3K034JA01 ,  3K092PP20 ,  3K092RF11 ,  3K092RF27 ,  3K092VV06 ,  3K092VV19 ,  4G001BA09 ,  4G001BA23 ,  4G001BA36 ,  4G001BB33 ,  4G001BB36 ,  4G001BB42 ,  4G001BC51 ,  4G001BC52 ,  4G001BD23 ,  4G001BD38 ,  4G001BE01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-128971
  
• 特開昭61-286267
  
• 窒化アルミニウム焼結体、電子機能材料および静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-263329   出願人：日本碍子株式会社
• カーボン含有窒化アルミニウム焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-355550   出願人：イビデン株式会社