特許
J-GLOBAL ID：200903039179932600

保護膜

発明者：
大竹 尚登

大竹 尚登 について

, 
青木 佑一

青木 佑一 について


出願人/特許権者：
財団法人理工学振興会

財団法人理工学振興会 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-342308
公開番号（公開出願番号）：特開2003-147525
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】 基材に耐摩耗性向上のために硬質膜が堆積されている部材において、基材自体が変形して硬質膜に大きなひずみが加えられても硬質膜が基材から剥離しにくい部材を提供する。【解決手段】 基材上に、セグメントに分割して形成された膜を堆積してなるセグメント形態の保護膜。
請求項（抜粋）：
基材上に、セグメントに分割して形成された膜を堆積してなるセグメント形態の保護膜。
IPC (4件)：
C23C 16/04 ,  C23C 14/04 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/27
FI (4件)：
C23C 16/04 ,  C23C 14/04 A ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/27
Fターム (22件)：
4K029AA02 ,  4K029AA11 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BA35 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K030AA09 ,  4K030BA18 ,  4K030BA28 ,  4K030BA29 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030CA07 ,  4K030DA05 ,  4K030FA01 ,  4K030JA01 ,  4K030LA01
引用特許：
審査官引用 (2件)

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