特許

J-GLOBAL ID：200903039181929030

光学検出装置およびこれを用いた研磨装置

発明者： 松川 英二 ,  大内 由美子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-383872
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181699
出願日： 2000年12月18日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】 光学検査装置における光学部材表面での反射光が検査光学系に入射することを防止して、S/N比の低下を防止する。【解決手段】 被検物体4に検査照明光を照射し、この被検物体からの反射光を検査信号光として信号検出器により受光して検出するように光学検出装置を構成している。この光学検出装置において、検査照明光および検査信号光が共通の光路7bを有し、この共通の光路7b内に設けられたビームスプリッタプリズム3における共通の光路内での空気との境界面3dが共通の光路7bに垂直となる場合に、この境界面3dからの検査照明光の反射光が検査信号光の光路7cから外れるように境界面3dを傾斜させている。

請求項（抜粋）：

被検物体に検査照明光を照射し、前記被検物体からの反射光を検査信号光として信号検出器により受光して検出するように構成された光学検出装置において、前記検査照明光および前記検査信号光が共通の光路を有し、前記共通の光路内に設けられた光学部材における前記共通の光路内での空気との境界面もしくは前記境界面の接平面からの前記検査照明光の反射光が前記検査信号光の光路から外れるように前記境界面もしくは前記接平面を傾斜させたことを特徴とする光学検出装置。

IPC (5件)：

G01N 21/27 ,  G01B 11/06 ,  G02B 5/04 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/02

FI (5件)：

G01N 21/27 B ,  G01B 11/06 Z ,  G02B 5/04 B ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/02 Z

Fターム (37件)：

2F065AA30 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065DD12 ,  2F065FF44 ,  2F065GG01 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2G059AA01 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF03 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059LL04 ,  2H042CA06 ,  2H042CA17 ,  2H052AB27 ,  2H052AB30 ,  2H052AC04 ,  2H052AF23 ,  2H087KA09 ,  2H087KA12 ,  2H087LA27 ,  2H087NA18