特許
J-GLOBAL ID：200903039182135924
プロセス制御装置並びに方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 喜樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-210006
公開番号（公開出願番号）：特開平5-324006
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 製造業あるいはサービス業のプロセスにおいて、測定されたプロセス変数を統計学的に解釈し、非制御状態を認識し、これを自動的に修正する。【構成】 非対称非直線型自動閉ループフィードバック制御を行う統計学的プロセス制御システムにより、制御される変数信号に応じて、プロセスの測定可能な特性値を変更するように構成された装置を制御する。測定されたサブグループ平均のずれの累算値から目標値を引いたものをサブグループの標準偏差で割った値を用い、累算値が目標値の上下に設定された上限並びに下限を超える度毎に操作変数を修正する。また、独立したスラック変数、警告値、及び制御ゲイン信号を用いて、所定のプロセスを効果的に制御する。これにより、制御対称変数を所望の目標値付近に、容易に、且つ効率的に、維持することができる。
請求項（抜粋）：
制御される変数信号に応じてプロセスの第一特性を変化させるように構成された装置により実行されるプロセスを、閉ループ制御する制御装置で、実行される上記プロセスの第一プロセス特性値を測定し、測定した値の算術平均を示す信号、並びに、前記測定した値の標準偏差を示す信号を出力する、バッチ測定手段と、前記バッチ測定手段と連結し、前記平均値信号及び前記標準偏差信号に応じて、前記測定された値の正規化偏差を示すエラー信号を出力する、正規化手段と、前記正規化手段と連結し、前記エラー信号に応じて、前記第一プロセス特性の所定の変化を検出するためのドリフト検出手段で、前記エラー信号と第一スラック値との差の経時変化値の総和を示す上限値累算信号を出力する第一累算手段と、前記エラー信号を負にした値と前記第一スラック値とは独立な第二スラック値との差の経時変化値の総和を示す下限値累算信号を出力する第二累算手段と、を備えるドリフト検出手段と、前記ドリフト検出手段と連結し、直前の操作可変信号の値と前記上限値累算信号及び前記下限値累算信号の少なくとも一つを基準化した値との和を示す操作可変信号を、選択的に出力する、プロセス制御手段と、前記操作可変信号を上記プロセス実行装置に送り、前記制御される変数信号を目標値に近づける、閉ループ制御手段と、を備えることを特徴とする制御装置。
IPC (3件)：
G05B 11/36 501
, G05B 11/36 507
, G05B 21/02
