特許
J-GLOBAL ID：200903039193365441
流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-151120
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322624
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 測定対象となる気体導入管の気体流路の一部に設けた熱線式質量流量センサへの粉塵の侵入を防止し、熱線式質量流量センサの精度を長期間にわたり安定したものとする。【構成】 測定対象となる気体を導入する導入管1と、この導入管1の気体流路の一部に設けた熱線式質量流量センサと、前記導入した気体を衝突させ該衝突した気体中の粉塵を付着させるように前記熱線式質量流量センサより上流側の導入管路内壁に少なくとも一つ以上形成した粉塵捕獲壁2,4〜8とを備えた構成である。
請求項（抜粋）：
測定対象となる気体を導入する導入管と、この導入管の気体流路の一部に設けた熱線式質量流量センサと、前記導入した気体を衝突させ該衝突した気体中の粉塵を付着させるように前記熱線式質量流量センサより上流側の導入管路内壁に少なくとも一つ以上形成した粉塵捕獲壁とを備えた流量計。
IPC (2件)：
引用特許：
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