特許

J-GLOBAL ID：200903039200238833

微量金属不純物の分析方法

発明者： 馬場 秀治
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321916
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141721
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 易熱分解性化合物、易揮発性化合物を溶解した水溶液、超純水等の試料中微量金属不純物を迅速に且つ精度良く分析することが可能な分析方法を提供する。【解決手段】 試料溶液中の微量金属不純物を分析する方法において、上記試料溶液をマイクロ波透過性の素材よりなる縦長容器に存在せしめてマイクロ波発生装置のチャンバー内に置き、次いで、マイクロ波を作用させて内容物を加熱しながら、該容器内で発生するガスを、該容器内がチャンバー内に対して密閉された状態で縦長容器とチャンバー外とを連通するガス排除手段によって排除した後、得られる残渣を取り出して分析する。

請求項（抜粋）：

試料溶液中の微量金属不純物を分析する方法において、上記試料をマイクロ波透過性の素材よりなる縦長容器に存在せしめてマイクロ波発生装置のチャンバー内に置き、次いで、マイクロ波を作用させて内容物を加熱しながら、該容器内で発生するガスを、該容器内がチャンバー内に対して密閉された状態で縦長容器とチャンバー外とを連通するガス排除手段によって排除した後、得られる残渣を取り出して分析することを特徴とする微量金属不純物の分析方法。

IPC (2件)：

G01N 33/20 ,  G01N 1/28

FI (2件)：

G01N 33/20 G ,  G01N 1/28 L

Fターム (11件)：

2G055AA30 ,  2G055BA01 ,  2G055CA01 ,  2G055CA04 ,  2G055CA06 ,  2G055CA07 ,  2G055CA11 ,  2G055CA12 ,  2G055CA13 ,  2G055EA10 ,  2G055FA02