特許
J-GLOBAL ID：200903039200582445
ガス供給源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216033
公開番号（公開出願番号）：特開平5-039900
出願日： 1991年08月01日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 ガス供給ラインの気密性検査が、簡単、迅速に、かつ熟練を要することなく行なえるガス供給源を提供することを目的とする。【構成】 ガス容器(ガスボンベ2)と、配管4、継手5、バルブ6、流量制御器8等で構成したガス供給ライン3がキャビネット1内に収容されている。キャビネット1内へ、検査用ガスを供給する手段としてヘリウムガス導入管11が導入されている。又、ガス供給ライン3の出口部分9aにヘリウム検出器14と真空排気ポンプ15が接続されている。
請求項（抜粋）：
ガス容器に、配管、バルブ、流量制御器等によって構成したガス供給ラインを接続し、これらのガス容器およびガス供給ラインをキャビネット内に収容してなるガス供給源において、前記キャビネット内へ、検査用ガスを供給する為の手段と、前記ガス供給ラインの出口側に接続された、検査用ガスの検出手段を有することを特徴としたガス供給源
IPC (3件)：
F17D 1/04
, F17D 5/02
, H01L 21/223
