投影型露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027107
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226217
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】照明条件に応じて最適な投影光学系の結像特性を得る。【構成】第1の照明系(5、7)と第2の照明系(60、61、62)とがオプチカルインテグレータブロック6に設けられいる。ブロック6は駆動系54により移動可能であり、第1、第2の照明系を切り替え可能である。また、レチクルR、レンズエレメント20、21、22、23は駆動素子29、25、27、57、58により移動可能である。第1と第2との照明系の切り替えに応じて、レチクルR、又はレンズエレメント(20、21、22、23)を移動することにより、投影光学系の結像特性の最適化を図る。

請求項（抜粋）：

光源からの照明光をほぼ均一な強度分布に成形するとともに、該均一な照明光を微細なパターンを有するマスクに照射する照明光学系と、前記マスクのパターンの像を感光基板に結像投影する投影光学系とを備えた投影型露光装置において、前記マスクのパターンに応じて、前記マスクに対する照明条件を変更する照明条件変更手段と;該投影光学系の結像特性を制御する結像特性制御手段と;前記照明条件変更手段に連動して前記結像特性制御手段を調整する調整手段とを有することを特徴とする投影型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L , H01L 21/30 311 S

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-278811
特開昭62-229838
特開平2-297918

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