特許
J-GLOBAL ID：200903039210038255
単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-109148
公開番号（公開出願番号）：特開2004-315263
出願日： 2003年04月14日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】CZ法により単結晶を製造する際に、ルツボ内に残存する原料融液を廃棄等するために固化しても、ルツボが割れて原料融液が漏れ出す恐れの少ない単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】チョクラルスキー法により石英ルツボに収容された原料融液から単結晶を引上げる単結晶の製造方法において、前記石英ルツボ内に前記原料融液が残存したままで切電し操業を終了する際に、原料融液を加熱するヒーターの電力を一旦単結晶引上げ時の電力より低い電力に下げ、該電力で一定時間保持して原料融液を固化した後に切電することを特徴とする単結晶の製造方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
チョクラルスキー法により石英ルツボに収容された原料融液から単結晶を引上げる単結晶の製造方法において、前記石英ルツボ内に前記原料融液が残存したままで切電し操業を終了する際に、原料融液を加熱するヒーターの電力を一旦単結晶引上げ時の電力より低い電力に下げ、該電力で一定時間保持して原料融液を固化した後に切電することを特徴とする単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B15/20
, C30B29/06 502Z
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EH07
, 4G077PF16
