薄膜回路の検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-051836
公開番号（公開出願番号）：特開平5-257107
出願日： 1992年03月10日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】この発明は、検査時間が少なく、実施が容易な薄膜回路の検査方法を提供することを目的とする。【構成】この発明の薄膜回路の検査方法は、絶縁基板上に形成された薄膜回路を導通状態とする工程と、薄膜回路の表面温度分布を測定することにより薄膜回路の断線および又は短絡を検出する工程とを具備してなり、上記の目的を達成することが出来る。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に形成された薄膜回路の検査方法において、上記薄膜回路を導通状態とする工程と、上記薄膜回路の表面温度分布を測定することにより上記薄膜回路の断線および又は短絡を検出する工程と、を具備することを特徴とする薄膜回路の検査方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

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公報種別：公開公報出願番号：特願平3-167139 出願人：青木一雄

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