特許

J-GLOBAL ID：200903039220284998

スパッタイオンポンプ

発明者： 川崎 洋補
出願人/特許権者： 日電アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-112424
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290791
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 ポンプ容器とポンプ素子の加熱を効率化するとともに、加熱時のマグネットの温度上昇を低減する。【構成】 ポンプ容器10の外側に、ポンプ素子12を取り囲むようにフレキシブルヒーター14を取り付け、その上からヒーターカバー16で押さえる。マグネット18はヒーターカバー16の外側に配置する。これにより、ポンプ容器10とポンプ素子12はヒーター14で直接加熱される。マグネット18の表面は外部に露出していて放熱効果が向上すると共に、ヒーターカバー16はフレキシブルヒーター14からマグネット18に伝わる熱を遮断する。これにより、マグネット18の温度上昇を抑えることができる。

請求項（抜粋）：

ポンプ容器とマグネットとの間にポンプ加熱用ヒーターを設けたことを特徴とするスパッタイオンポンプ。