特許

J-GLOBAL ID：200903039224588266

プラズマエッチング用電極板

発明者： 箕浦 誠司 ,  高木 俊
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-192100
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035081
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】 プラズマエッチング用電極板の厚さに対するガス通過孔の径を小さくすることにより、精密なプラズマを発生させ、良好なエッチング効果を有するプラズマエッチング用電極板を提供する。【構成】 ガス通過孔を有するガラス状カーボン又は熱分解炭素からなるプラズマエッチング用電極板において、前記ガス通過孔がレーザを用いて穿孔したものであるプラズマエッチング用電極板。

請求項（抜粋）：

ガス通過孔を有するガラス状カーボン又は熱分解炭素からなるプラズマエッチング用電極板において、前記ガス通過孔がレーザを用いて穿孔したものであることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。

IPC (4件)：

C23F 4/00 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-285086
  
• 磁気ディスク用基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-252736   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-160190
  
• 特開平4-200891
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-285086
  
• 磁気ディスク用基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-252736   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-160190
  
• 特開平4-200891