注入同期式放電励起レーザ装置及び注入同期式放電励起レーザ装置における同期制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-269042
公開番号（公開出願番号）：特開2009-099727
出願日： 2007年10月16日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：

【課題】光学的なロスを増大させることなく、効果的に出力レーザ光のロングパルス化を図ることができ、所望の強度の出力レーザ光を得ることができる注入同期式放電励起レーザ装置及び注入同期式放電励起レーザ装置における同期制御方法を提供する。【解決手段】発振段レーザ10と増幅段レーザ20とを備える注入同期式放電励起レーザ装置を設ける。増幅段レーザ20のレーザチャンバ21は、1つの光共振器と、該光共振器の光軸上に配置された複数の電極ペアである電極2a、2bと、上記電極ペアの放電タイミングを制御する同期コントローラ35とを備える。また、同期コントローラ35は、発振段レーザ10から出力されたシード光が増幅段レーザ20に注入されるのと同期して、電極2aを放電させて増幅発振させ、電極2aの放電から所定の遅延時間後、電極2aによる増幅発振が終了する前に、上記電極2bを放電させて、増幅発振させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

発振段レーザと、該発振段レーザからのシード光が注入され、該シード光を増幅発振させる増幅段レーザを備え、前記増幅段レーザは、1つの光共振器と、前記光共振器の光軸上に配置された複数ペアの放電電極と、該複数ペアの放電電極を収納した1乃至複数のレーザチャンバと、上記複数のペアの放電電極の放電タイミングを制御する制御手段とを備え、上記制御手段は、前記シード光が増幅段レーザに注入されるのと同期して、前記放電電極の少なくとも1ペアの第1の電極ペアを放電させて、増幅発振させ、上記第1の電極ペアの放電から所定の遅延時間後、前記第1の電極ペアによる増幅発振が終了する前に、前記第1の電極ペア以外の少なくとも1ペアの第2の電極ペアを放電させて、増幅発振させることを特徴とする注入同期式放電励起レーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/134 , H01S 3/23 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01S3/134 , H01S3/23 , H01L21/30 527 , H01L21/30 515B

Fターム (26件)：

5F046CA04 , 5F071AA06 , 5F071CC01 , 5F071CC03 , 5F071EE04 , 5F071GG05 , 5F071HH02 , 5F071HH07 , 5F071JJ10 , 5F172AD06 , 5F172CC01 , 5F172CC04 , 5F172CC09 , 5F172DD04 , 5F172EE22 , 5F172NN15 , 5F172NP03 , 5F172NP04 , 5F172NP08 , 5F172NQ05 , 5F172NQ10 , 5F172NR13 , 5F172NR14 , 5F172NR28 , 5F172XX01 , 5F172ZA04

引用特許：

出願人引用 (5件)

米国特許第6,928,093号明細書
米国特許第6,535,531号明細書
特許第2760159号公報

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