特許
J-GLOBAL ID:200903039227718993
入出力保護素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
舘野 千惠子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-341836
公開番号(公開出願番号):特開平7-169959
出願日: 1993年12月13日
公開日(公表日): 1995年07月04日
要約:
【要約】【目的】 入出力保護素子において、素子分離端拡散層のコーナ部での電界集中を緩和して、静電破壊耐量の向上を図る。【構成】 MISFETのドレイン領域での素子分離端コーナ部(a,c,e,g)の接合耐圧が高く、コーナ部以外の素子分離端(b,d,f)の接合耐圧が低くなるように形成する。
請求項(抜粋):
MISFET及びバイポーラトランジスタ動作素子を利用した入出力保護素子であって、基板上に形成されたMISFETのドレイン領域及びバイポーラトランジスタ動作素子のコレクタ領域となる拡散層の素子分離端で、前記拡散層のコーナ部における拡散層接合耐圧が、コーナ部以外の素子分離端の拡散層接合耐圧より高いことを特徴とする入出力保護素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 29/78 301 K
, H01L 27/06 311 C
引用特許:
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