特許
J-GLOBAL ID：200903039229970053
外観検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289226
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099635
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 検体の外形輪郭、表面状態に加えて裏面状態および側面状態を撮像するようにして検体の微小化、検査速度の高速化に対応すると共に、検体の全体を検査するようにした外観検査装置を提供する。【構成】 ミラー11上で検体であるチップ状部品1を搬送する。チップ部品1の搬送方向と直角方向の側面、裏面をミラー11の反射を利用して照明手段16、22、24により照明し、各面の状態を撮像装置17、23、25により撮像する。チップ部品1の表面を照明手段18、20により照明し、外形輪郭、表面状態を撮像装置19、21により撮像する。チップ部品1の搬送方向と平行方向の側面を照明手段26、28により照明し、各面を撮像装置27、29により撮像する。
請求項（抜粋）：
走行ガイドであるミラーと、このミラー上で検体を搬送する搬送手段と、搬送される上記検体の表面側から外形輪郭のために照明する照明手段および外形輪郭を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の表面を照明する照明手段および表面状態を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の裏面を上記ミラーの反射を利用して照明する照明手段および裏面状態を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の搬送方向と直角方向の側面を上記ミラーの反射を利用して照明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置と、搬送される上記検体の搬送方向と平行方向の側面を照明する照明手段および側面状態を撮像する撮像装置とを備えた外観検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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