特許

J-GLOBAL ID：200903039236606561

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 高木 良博
出願人/特許権者： 富士フイルムアーチ株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-224104
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040651
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、高感度であり、しかも、平坦性、高解像性、現像性、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、透明性、絶縁性等の諸特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物、更には、上記諸特性と同時に低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】テトラフルオロエチレン、カルボキシル基を含有するモノマー及びこれらと共重合可能なモノマーを共重合させることにより得られるフッ素含有共重合体、1,2- ナフトキノンジアジド基含有化合物及び架橋剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。前記ポジ型感光性樹脂組成物を、塗布、第1露光、現像、第2露光、加熱処理を順次行う工程において、第2露光の光量が、第1露光の2〜15倍であることを特徴とするパターン形成方法。

請求項（抜粋）：

テトラフルオロエチレン、カルボキシル基を含有するモノマー及びこれらと共重合可能なモノマーを共重合させることにより得られるフッ素含有共重合体、1,2- ナフトキノンジアジド基含有化合物及び架橋剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (17件)：

G03F 7/033 ,  C08F214/26 ,  C08F216/14 ,  C08F218/04 ,  C08F218/14 ,  C08F220/00 ,  C08F220/06 ,  C08F222/16 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/42 ,  C08L 27/18 ,  C08L 63/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (18件)：

G03F 7/033 ,  C08F214/26 ,  C08F216/14 ,  C08F218/04 ,  C08F218/14 ,  C08F220/00 ,  C08F220/06 ,  C08F222/16 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/42 ,  C08L 27/18 ,  C08L 63/00 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 570

Fターム (89件)：

2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB06 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  4J002BD151 ,  4J002BE041 ,  4J002BF041 ,  4J002BG011 ,  4J002BH021 ,  4J002CD022 ,  4J002CD042 ,  4J002CD052 ,  4J002CD062 ,  4J002EJ017 ,  4J002EL027 ,  4J002EQ017 ,  4J002EQ036 ,  4J002ER007 ,  4J002EU187 ,  4J002EV246 ,  4J002EX000 ,  4J002FD142 ,  4J002FD147 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05 ,  4J100AA02R ,  4J100AA03R ,  4J100AA06R ,  4J100AB02R ,  4J100AC26P ,  4J100AE02R ,  4J100AE03R ,  4J100AE04R ,  4J100AE09R ,  4J100AG02R ,  4J100AG04R ,  4J100AG08Q ,  4J100AG08R ,  4J100AJ01Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AL10R ,  4J100AL36Q ,  4J100AM02R ,  4J100AM15R ,  4J100BA02R ,  4J100BA05R ,  4J100BA06R ,  4J100BA16Q ,  4J100BC02R ,  4J100BC03R ,  4J100BC04R ,  4J100BC07R ,  4J100BC08R ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38 ,  5F046JA04 ,  5F046JA22 ,  5F046LA12 ,  5F046LA18 ,  5F058AA06 ,  5F058AA08 ,  5F058AA10 ,  5F058AC06 ,  5F058AC08 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AG09 ,  5F058AH02