特許

J-GLOBAL ID：200903039239373940

気化容器

発明者： 佐藤 幸平 ,  金子 功 ,  大崎 浩美 ,  朝倉 和之
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小宮 良雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323057
公開番号（公開出願番号）：特開平6-173011
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構造で、効率よく安定的に固体有機金属化合物を気化させることのできる有機金属化合物の気化容器を提供することを目的とする。【構成】 本発明の気化容器は、キャリヤガス導入管2と混合気排出管3とがそれぞれ容器1内で開口し、伝熱管4がその容器1内を貫通している。伝熱管4の本数は2〜5本、しかもそれらが底壁と平行に設けられているとよく、キャリヤガス導入管2は底部で、混合気排出管3はその上方で開口しているとよい。

請求項（抜粋）：

キャリヤガス導入管と混合気排出管とがそれぞれ容器内で開口し、伝熱管がその容器内を貫通していることを特徴とする気化容器。