特許
J-GLOBAL ID:200903039242199293

画像表示装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-063622
公開番号(公開出願番号):特開2000-260325
出願日: 1999年03月10日
公開日(公表日): 2000年09月22日
要約:
【要約】【課題】 非蒸発型ゲッタの吸着能力を向上させ、画像表示装置内の真空度を向上させ、電子放出素子の寿命の均一化、画像表示装置の輝度の均一性を向上させ、長寿命化を図る。【解決手段】 外周部加熱用ホットプレート40の温度を外周部接着剤の耐熱温度である300°Cとし、画像表示領域加熱用ホットプレート41の温度を350°C、保持時間を10時間として、非蒸発型ゲッタ層7の活性化ならびに外囲器10の加熱脱ガス処理を行う。次に、外囲器10の温度を降温させるとともに、仕切り弁53を閉じ、仕切り弁54を開いて排気系をターボ分子ポンプ61からスパッタイオンポンプ62に切り替え、外囲器10内の真空度を更に高めた。外囲器10内の圧力が約10-7Paに達したら、排気管28をガスバーナーであぶって、排気管28をチップオフし、気密容器を完成させる。
請求項(抜粋):
蛍光体及び電極が形成された第1絶縁基板と、前記蛍光体を励起する複数の励起源及び電極配線が形成された第2絶縁基板と、前記第1及び第2絶縁基板を対向して支持する支持材とを前記第1及び第2絶縁基板の外周部において熱溶融接着剤で接着した外囲器とを含み、前記第1絶縁基板の画像表示領域外に非蒸発型ゲッタを有する画像表示装置の製造方法であって、前記外囲器内を第1の真空度に排気し、前記外周部を第1温度に加熱するとともに、前記非蒸発型ゲッタが形成された領域を、前記接着を行う温度以上の第2温度に加熱し、前記第1及び第2温度を所定時間保持した後に降温し、前記外囲器内を第1の真空度より高真空度の第2の真空度に到達させ、前記外囲器を封止することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
IPC (2件):
H01J 9/39 ,  H01J 9/385
FI (2件):
H01J 9/39 A ,  H01J 9/385 A
Fターム (2件):
5C012AA05 ,  5C012PP08

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