特許

J-GLOBAL ID：200903039259145367

イオン質量分析装置

発明者： 西 伸彦 ,  矢野 歩
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100957
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310089
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 質量分析計7へのイオンの導入効率を高めて検出感度を向上させることを目的とする。【構成】 円筒型のレンズ電極9aの周壁に、イオンの軌道に影響を与えない複数の開口13を形成し、これら開口13を通してレンズ電極9a,9b,9cの筒内部の残留ガスを排気して真空度を高め、残留ガスに衝突散乱されるイオンを低減してイオンの輸送効率を高めている。

請求項（抜粋）：

イオン源で発生されるイオンが導入される差動排気室内に、前記イオンを質量分析計に向けて引き出すイオン引出電極と、引き出されたイオンを質量分析計の入口に収束させる円筒型の複数のレンズ電極とが配置されたイオン質量分析装置において、前記複数のレンズ電極の少なくとも一つのレンズ電極の周壁に、イオンの軌道に影響を与えない開口を形成したことを特徴とするイオン質量分析装置。