特許
J-GLOBAL ID：200903039262831956
カセット搬送車
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098420
公開番号（公開出願番号）：特開平10-278781
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】 カセット搬送車の上板上に粉塵が堆積しにくくするとともに、搬送室内を流れるダウンフローによって、上板上の粉塵が舞い上がることのないカセット搬送車を提供すること。【解決手段】 クリーンルーム内を走行する搬送車3の上板31を傾斜して配設するとともに、上板31の高位置側の側板32にカセットの出入口32aを形成する。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内を走行する搬送車の上板を傾斜して配設するとともに、該上板の高位置側の側板にカセットの出入口を形成したことを特徴とするカセット搬送車。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B61B 13/12 J
, B61D 27/00 S
