圧電振動子の構造とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-325560
公開番号（公開出願番号）：特開2005-094410
出願日： 2003年09月18日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】容量比の低下を防ぐと共に精度の良い電極の形成と、小型化に適した構造で量産向きの圧電振動子とその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】図1(a)は上面図を示し、図1(b)はA方向からの側面図を示しており、メサ構造を有する圧電振動子21は、圧電基板22の両主面に凸部23を形成した後、凸部23の表裏に励振電極24を形成してリード電極25を介してパッド電極26に接続したものである。図1に示すように、本実施例によれば、励振電極24は、圧電基板22の凸部23より拡大して形成しており、従って、電極寸法(大きさ)で決まる容量C0が増加して圧電振動子の容量比が増加する。又、励振電極24の、凸部23より拡大した部分の面積(電極量)を可変することにより、メサ構造を有する圧電振動子の容量比を任意に設定することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電基板の両主面の相対向する位置に所定の形状の凸部を設け、該凸部上面に励振電極を形成すると共に、該励振電極と前記圧電基板端部に配置したパッド電極とを接続するためのリード電極を備えた圧電振動子において、前記励振電極を、圧電基板の端部に向って前記凸部の段差部より外側の領域まで拡大したことを特徴とする圧電振動子の構造。

IPC (5件)：

H03H9/17 , H01L41/09 , H01L41/22 , H02N2/00 , H03H3/02

FI (5件)：

H03H9/17 C , H02N2/00 B , H03H3/02 B , H01L41/08 C , H01L41/22 Z

Fターム (8件)：

5J108AA00 , 5J108CC04 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108FF01 , 5J108FF04 , 5J108KK01 , 5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭51-24892号公報
厚み滑り水晶振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-162956 出願人：日本電波工業株式会社

審査官引用 (6件)

特開平4-127709
特開平2-231808
水晶振動子の電極形成方法及び水晶振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-038152 出願人：日本電波工業株式会社

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