特許
J-GLOBAL ID：200903039264621398
位置測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145339
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313209
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 正確な位置測定が必要なあらゆる分野に適用できるとともに、微小な測定長から大きな測定長まで、高い分解能で正確に距離もしくは相対位置の測定が可能となる位置測定装置を提供する。【構成】 光源部10には、二つの発光素子11及び15が設けてある。発光素子11からの光はスリットマスク13の複数のスリットを通過してCCD20に投射される。したがって、CCDからみると、等価的に複数の光源があることになる。CCDには10μm間隔でセルが設けられ、8セルずつに1グループとされる。発光素子15からの光はグループ分けされたCCDセル上での位置をグループ単位で求めるのに用いる。各スリットの間隔は、CCDセルの一つのグループの間隔と等しい80μmである。したがって、CCD上での光の強度分布は80μm間隔でピークとなる。
請求項（抜粋）：
x軸方向に等間隔で直線的に配列したp個の受光素子を、各グループにq個ずつ、r個のグループに分けて構成された受光手段と(p=q×r)、前記受光手段のグループの間隔と等しい間隔に設けられそれぞれが前記受光手段に対し所定の強度分布で光を投射する複数の光源が、前記受光手段に対向するよう配置され、x軸方向に並進移動可能とされた光源手段と、前記各受光素子が前記光源からの光を受光したときに、それぞれのグループにおける対応する受光素子の出力信号を加算してq個の信号として出力する加算手段と、を具備し、前記加算手段による加算の結果得られるq個の値を周期関数化し、この周期関数の位相を求めることによって、1グループの範囲内における前記光源手段の前記受光手段に対するx軸方向の相対位置を求めることを特徴とする位置測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, B23Q 17/24
, G03F 7/20
, G03F 9/00
G01B 11/00 A
, B23Q 17/24 B
, G03F 7/20
, G03F 9/00 Z
