特許

J-GLOBAL ID：200903039269612265

高速立体形状検出装置

発明者： 本田 敏文 ,  奥田 浩人 ,  堀井 智晴 ,  菅原 貞幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-095686
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295044
出願日： 1998年04月08日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】合焦点位置からのずれ量をもとに検出対象の立体形状を検出する技術において、画像の高さ検出レンジを、高速かつシンプルな検出光学系により実現する。【解決手段】検出対象の高さごとに要求検出高さ精度をあらかじめ設定しておき、その設定値にしたがって、検出対象の各高さに対応する画像を検出する際の開口数を変化させることで、各画像が対応する高さの間隔を自由に制御する。

請求項（抜粋）：

検出対象物からの光を結像させる結像レンズと、前記結像レンズで結像させた像の光量を電気信号に変換する光検出器と、前記光検出器の出力する電気信号の強度をもとに前記検出対象物と前記結像レンズとの距離を求める高さ検出器とを備える立体形状検出装置において、前記立体形状検出装置は前記結像レンズに前記検出対象物の検出高さ毎に設定されている要求高さ検出精度に基づいて、各高さ毎に異なった開口数での画像の検出を実現する開口絞りを有し、前記立体形状検出装置は前記結像レンズを介した前記光検出器の前記検出対象物側の共役な位置と、前記検出対象物間の距離が前記開口数により決定される焦点深度に比例してそれぞれ異なる状態において、前記光検出器の出力値を取得することを可能にする共役位置設定手段を有し、前記高さ検出器は前記結像レンズを介した前記光検出器の前記検出対象物側の共役な位置と、前記検出対象物の距離とともに前記結像レンズの開口数を変化させて取得した前記光検出器の出力する電気信号のデータをもとに、前記結像させた像の焦点はずれを算出する焦点はずれ量算出手段を有することを特徴とする立体形状検出装置。