特許
J-GLOBAL ID：200903039291084132
リードフレームの検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095606
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288586
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 洗浄液を用いてリードフレームを洗浄しなくても、リードフレームに生じることがある打痕やバリ等の異常を正確に検出することができるリードフレームの検査装置を提供する。【解決手段】 帯状に連続するリードフレーム3を搬送するための搬送ローラ6aと、リードフレーム3の検査面3a側の画像をCCDカメラ6cで入力し、入力画像の輝度を解析することでリードフレーム3の異常を検出する制御部8とを有する。さらに、CCDカメラ6cに対してリードフレーム3の搬送経路の上流側に設けられ、リードフレーム3の検査面3aに向けて搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエア18を吹き付けるエアーブロワ17を有する。
請求項（抜粋）：
帯状に連続するリードフレームを搬送するための搬送手段と、前記リードフレームの検査面側の画像を撮像カメラで入力し、入力画像の輝度を解析することで該リードフレームの異常を検出する検査手段とを有するリードフレームの検査装置において、前記撮像カメラに対して前記リードフレームの搬送経路の上流側に設けられ、該リードフレームの前記検査面に向けて前記搬送経路の下流側から上流側へ斜めにエアを吹き付けるエアーブロワを具備することを特徴とするリードフレームの検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/89
, H01L 21/66
, H01L 23/50
, B21D 28/00
G01N 21/89 Z
, H01L 21/66 J
, H01L 23/50 K
, B21D 28/00 B
