特許
J-GLOBAL ID:200903039291301788

質量分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-058949
公開番号(公開出願番号):特開平9-251849
出願日: 1996年03月15日
公開日(公表日): 1997年09月22日
要約:
【要約】【課題】 イオン輸送用レンズに到達するまでのイオンのロスを防止することにより、高い感度が得られる質量分析装置を提供する。【解決手段】 大気圧イオン源1で生成されたイオンは、サンプリングコーン2及びスキマーコーン3を介して質量分析系4に導入されて質量分析される。スキマーコーン3と質量分析系4の間の領域には、高周波電圧が印加された4本の電極から構成されるレンズ5が配置されている。そして、スキマーコーン3のレンズ5側には、導入穴と連通するようにパイプ6が例えば溶接などにより取り付けられている。このパイプ6の他端は、レンズ5の内部まで届いている。
請求項(抜粋):
イオン源と、該イオン源で生成されたイオンを真空室内へ導入するための穴を備えた導入手段と、真空室内へ導入されたイオンを質量分析するための質量分析器と、質量分析器と導入手段との間に配置されるイオン輸送用レンズと、前記導入手段と前記イオン輸送用レンズとの間のイオン通路に配置され、イオンをその内部を通して前記導入手段から前記イオン輸送用レンズへ導くイオン輸送管を備えたことを特徴とする質量分析装置。
IPC (2件):
H01J 49/04 ,  G01N 27/62
FI (2件):
H01J 49/04 ,  G01N 27/62 E

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