特許
J-GLOBAL ID:200903039292427106
部品位置決め方法、および、該部品位置決め方法を用いた部品位置決め装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-138572
公開番号(公開出願番号):特開2001-315344
出願日: 2000年05月11日
公開日(公表日): 2001年11月13日
要約:
【要約】【課題】 高精度に位置決め接合する部品の工程短縮,品質向上,コストダウンを図る。【解決手段】 振動板部品1の基準孔3は、厚さ3〜10ミクロンの第一層ニッケルめっき膜4で塞がれ、二層電鋳2によって外形形状が形成された凹み状の孔で、基準孔3から入射した光は振動板部品1を透過しない。ノズル部品11の基準孔13は光が貫通する貫通孔である。振動板部品1とノズル部品11のDFR5,15面が相対した形で、双方の基準孔3,13を基に、X,Y,θ軸の3軸で位置調整し、±5ミクロンレベルの精度内に至った時点で加熱圧着接合する。このとき、位置検出用としてX線20を用いる。振動板部品1の製作工程において、第一層フォトリソ工程での非めっきパターン形成が不用となり、大幅な工程短縮が図られる。
請求項(抜粋):
相対する部品に配設された位置決め用の基準孔同士が相対するように当該部品を重ね、前記相対する基準孔の相対位置の差に基づいて前記相対する部品を移動させることにより、該部品の相互の位置決めを高精度に行う部品位置決め方法において、前記相対する基準孔の少なくとも一方は該基準孔から入射した光が透過しない非光透過性の底部を有する有底孔として形成し、前記相対する基準孔の中心軸の軸方向にX線を照射し、該X線の照射によって得られる前記相対する基準孔のX線透過像に基づいて前記相対する部品を移動することを特徴とする部品位置決め方法。
IPC (3件):
B41J 2/16
, G01B 15/00
, G01N 23/04
FI (3件):
G01B 15/00 A
, G01N 23/04
, B41J 3/04 103 H
Fターム (31件):
2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AP02
, 2C057AP22
, 2C057AP23
, 2C057AP24
, 2C057AP55
, 2C057AP77
, 2F067AA13
, 2F067AA15
, 2F067BB16
, 2F067CC00
, 2F067CC08
, 2F067DD03
, 2F067EE10
, 2F067HH04
, 2F067JJ03
, 2F067KK06
, 2F067LL16
, 2F067NN02
, 2F067TT01
, 2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001HA13
, 2G001JA11
, 2G001JA13
, 2G001KA03
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001RA08
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