特許
J-GLOBAL ID:200903039300432149

トレーサガスによる漏れ検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 義雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-256720
公開番号(公開出願番号):特開平5-223682
出願日: 1992年09月25日
公開日(公表日): 1993年08月31日
要約:
【要約】【目的】 乾式ポンプを一次ポンプとして使用する漏れ検出器を提供する。【構成】 分析セル1と、その吸気部が第1のバルブ7を備えた第1の管6によって検出器の入口オリフィス5に接続されている一次ポンプ4と、分析セル1に接続された入口、及び一次ポンプ4の吸気部に接続された排気部を有する二次ポンプユニットとを備えたトレーサガス漏れ検出器であって、一次ポンプ4が乾式ポンプであり、二次ポンプユニットが、第2のバルブ8によって互いに離隔されている2つの機械型二次ポンプ2,3を備え、第2の二次ポンプ3と称する乾式一次ポンプ4により近い方の二次ポンプ3がその排気部に動的接合段18,20を備え、第2の管9が第2のバルブ8の下流の第2の二次ポンプ3の吸気部を第1の管6に接続し、第3のバルブ10が、第2の二次ポンプ3の排気部と第2の管9が第1の管6へ交差する部分11との間で第1の管6上に配置され、第3のバルブ10が第2の二次ポンプ3の吸気部に配置された圧力センサ16によって制御されていることを特徴とする漏れ検出器。
請求項(抜粋):
分析セルと、その吸気部が第1のバルブを備えた第1の管によって検出器の入口オリフィスに接続されている一次ポンプと、分析セルに接続された入口、及び一次ポンプの吸気部に接続された排気部を有する二次ポンプユニットとを備えたトレーサガスによる漏れ検出器であって、一次ポンプが乾式ポンプであり、二次ポンプユニットが、第2のバルブによって互いに離隔されている2つの機械型二次ポンプを備え、第2の二次ポンプと称する乾式一次ポンプにより近い方の二次ポンプがその排気部に動的接合段を備え、第2の管が第2のバルブの下流の第2の二次ポンプの吸気部を第1の管に接続し、第3のバルブが、第2の二次ポンプの排気部と第2の管が第1の管へ交差する部分との間で第1の管上に配置され、第3のバルブが第2の二次ポンプの吸気部に配置された圧力センサによって制御されていることを特徴とする漏れ検出器。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭63-096533
  • 特開昭63-280894
  • 特開平2-110335

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