特許
J-GLOBAL ID：200903039303312594
透過波面測定用干渉計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262381
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099614
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 光源の空間的コヒーレンシーがある程度悪くても、必要な明るさでコントラストの高い干渉縞が得られる透過波面測定用干渉計を提供する。【構成】 時間的コヒーレンスの要請から決まる参照光路の波動光学的光路長を変えず、参照光路を経由して見たときの光源7′と観測面14の幾何光学的関係と、被検光路を経由して見たときの光源7′と観測面14の幾何光学的関係との関係を等価にするため、参照光路に補正光学系としてアフォーカル光学系22を添装した。この結果、参照光路を経由したある光線と被検光路を経由したある光線が、観測面上のある1点でコヒーレントに重ね合わされときの位相差が、光源上の発光点の位置に関係なく揃う。
請求項（抜粋）：
光源よりある拡がり角をもって射出する略平行光束を二分割し、一方を参照光束、他方を被検光束とし、該被検光束中に、光学材料素子で構成された被検物たる光学部品を配置し、参照光学系を通過した該参照光束と被検光学系を通過した該被検光束を再び重ね合わせ、所定の観測面で干渉縞を形成するよう構成した干渉計において、該参照光学系を経由して見たときの該光源と該観測面の間の幾何光学的関係と、該被検光学系を経由して見たときの該光源と該観測面の間の幾何光学的関係とが等価になるように、該参照光学系を構成したことを特徴とする透過波面測定用干渉計。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01M 11/00
