特許
J-GLOBAL ID：200903039305753865
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-349728
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164638
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 振動、温度変動、流体全体に伝播されるノイズ等に対して、センサ構造による補正に加えるとともに、機械的に繊細な圧力検出部に異物が流入することを防止し、高感度で信頼性の高い圧力センサを提供する。【構成】 膜状圧電体の両面に電極層を設けた2個の圧電素子(2、3)を、同一方向の面が同一の分極極性となるように配置し、2個の入口ノズル(39、40)から流体圧力を、一方の圧電素子の第1の面と他方の圧電素子の第2の面、および他方の圧電素子の第1の面と一方の圧電素子の第2の面にそれぞれ導入し、2個の入口ノズル(39、40)に、圧力検出部(4)への異物の流入を防止する手段(51、52)を設けた圧力センサ(1)。
請求項（抜粋）：
膜状圧電体の両面に電極層を設けた2個の圧電素子を、それぞれ2個一対のホルダで両面から挟持して張設した圧力検出部を備え、前記2個の圧電素子は同一の方向に向きかつ同一方向の面が同一の分極極性となるように配置され、前記圧力検出部には流体の圧力を導入する2個の入口ノズルが設けられ、一方の入口ノズルが第1の流体圧力導入経路を介して一方の圧電素子の第1の面に連通されるとともに第4の流体圧力導入経路を介して前記一方の圧電素子の第1の面とは分極極性が異なる他方の圧電素子の第2の面に連通され、他方の入口ノズルが第2の流体圧力導入経路を介して前記一方の圧電素子の第2の面に連通されるとともに第3の流体圧力導入経路を介して前記他方の圧電素子の第1の面に連通された圧力センサであって、前記2個の入口ノズルに、前記圧力検出部への異物の流入を防止する手段を設けたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (4件)：
G01L 9/08
, G01F 1/20
, G01F 1/32
, G01L 19/00
