特許

J-GLOBAL ID：200903039306982370

研磨面構成部材及び該研磨面構成部材を用いた研磨装置

発明者： 市村 照彦 ,  赤木 真 ,  戸川 哲二
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-243278
公開番号（公開出願番号）：特開2003-053657
出願日： 2001年08月10日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 研磨対象物の縁部の過研磨を小さくし、該被研磨対象物の表面を平坦かつ均一に研磨できる研磨面構成部材及び該研磨面構成部材を用いた研磨装置を提供することを目的とする。【解決手段】 研磨面構成部材に研磨対象物を所定の圧力で当接し、両者の相対運動により該研磨対象物を研磨する研磨面構成部材であって、研磨パッド1-1(研磨面構成部材)の研磨対象物10が当接する表面に所定のピッチの溝4又は所定の形状の突起を設けた。

請求項（抜粋）：

研磨面構成部材に研磨対象物を所定の圧力で当接し、両者の相対運動により該研磨対象物を研磨する研磨面構成部材であって、前記研磨面構成部材の研磨対象物が当接する表面に所定のピッチの溝又は所定の形状の突起を設けたことを特徴とする研磨面構成部材。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (6件)：

3C058AA09 ,  3C058BA02 ,  3C058BA05 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17