特許

J-GLOBAL ID：200903039317983246

漏洩試験方法

発明者： 新倉 啓二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-349840
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171329
出願日： 1998年12月09日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 低真空下でもプローブガスのバックグラウンドノイズを受けにくく、微小な漏洩も容易に且つ迅速に検出することができ、かつ、置換ガスの消費量の少ない密閉容器の漏洩試験方法。【解決手段】 試験槽1の内部に被試験体2を収納し所定個所に設置した後に、Heリークディテクタ6の測定開始圧力まで排気S1し、その後に置換ガスを流入させて、計画されたサイクルタイム(T2)まで圧力を一定に保つS2それぞれの工程を設ける。

請求項（抜粋）：

被試験体を気密な試験槽内に格納し、この試験槽の内部を排気手段によって排気して減圧する第1工程と、この第1工程の後に前記試験槽の内部を減圧された圧力を保つよう排気を継続しつつ置換ガスを供給する第2工程と、この第2工程によってガス置換された試験槽内のプローブガスの濃度を検出するプローブガス検出工程と、試験槽内に被試験体が無いときのプローブガスの濃度をバックグラウンド値として検出するバックグラウンド値検出工程と、前記プローブガス検出工程で検出した濃度と前記バックグラウンド値とを基に漏洩の判定を行う判定工程とを有することを特徴とする漏洩試験方法。

IPC (2件)：

G01M 3/20 ,  F25B 49/02

FI (2件)：

G01M 3/20 B ,  F25B 49/02 A

Fターム (3件)：

2G067AA34 ,  2G067CC13 ,  2G067DD17