特許

J-GLOBAL ID：200903039336842858

微細ボール搭載装置及び搭載方法

発明者： 水野 吉規
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-163513
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345546
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】 平行度の細かい調整をすることなく、また、微細ボ-ルの形状精度を劣化させることなく、僅かな荷重で治具からワークへ微細ボールを受け渡し、安定した転写を行う。【解決手段】 微細ボールBを整列させて保持する配列治具33を設ける。配列治具33に保持された微細ボールBをワークWに転写させるボール転写機構を設ける。ワークWを把持する把持機構65と、把持機構65を移動させてワークWを配列治具33の対向位置へ配置させる移動機構63と、配列治具33の上部対向位置に載置させたワークWを配列治具33側へ押圧することによりワークWの表面に設けられた粘着層106に微細ボールBを押し付けて保持させて配列治具33から転写させる押圧機構72とからボール転写機構を構成する。

請求項（抜粋）：

バンプとなる微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、前記微細ボールを整列させて保持する治具と、該治具に保持された前記微細ボールを前記ワークに転写させるボール転写機構とを有してなり、該ボール転写機構は、前記ワークを把持する把持機構と、該把持機構を移動させて前記ワークを前記治具の上方対向位置へ配置させる移動機構と、前記把持機構による把持の解除により前記治具上に載置された前記ワークを前記治具側へ押圧して前記ワークの表面に設けられた粘着層に前記微細ボールを押し付けて保持させて前記治具から転写させる押圧機構とを有することを特徴とする微細ボール搭載装置。

IPC (2件)：

H05K 3/34 505 ,  H01L 21/60

FI (2件)：

H05K 3/34 505 A ,  H01L 21/92 604 H

Fターム (7件)：

5E319AA03 ,  5E319AC01 ,  5E319BB04 ,  5E319CD04 ,  5E319CD13 ,  5E319CD25 ,  5E319GG15