特許

J-GLOBAL ID：200903039336863570

露光装置、輸送方法

発明者： 長橋 良智
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-401142
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203771
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 本体装置と複数の周辺装置とを有する露光装置において、組み立て時の作業性が良好な露光装置、輸送の際の作業性が良い輸送方法を提供する。【解決手段】 露光装置は、パターンを基板に露光する露光本体装置と、この本体装置に接続される複数の周辺装置とを備えている。こらら各装置のそれぞれは複数の分割チャンバ1,2,3,4に個別に収納されており、各装置のそれぞれは、分割チャンバ1,2,3,4のそれぞれを連結することにより接続される。

請求項（抜粋）：

パターンを基板に露光する露光本体装置と、該本体装置に接続される複数の周辺装置とを備えた露光装置において、前記各装置のそれぞれを個別に収納する複数の分割チャンバを備え、前記各装置のそれぞれは、前記分割チャンバのそれぞれを連結することにより接続されることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 Z

Fターム (3件)：

5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046DA09