特許

J-GLOBAL ID：200903039338255534

照明光学装置及びそれを備えた投影露光装置

発明者： 小松田 秀基 ,  谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-127421
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050958
出願日： 1996年05月22日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【目的】効率良く長方形状の照野を形成する際に均一な面光源を形成すること。また、線幅が均一な解像を行なうこと。【構成】光源(1)、この光源からの光束に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータ(50)及びここから射出される光束を集光してレチクル(R)を重畳的に照明するコンデンサ光学系(6)とを有する。ここで、オプティカルインテグレータは、長辺と短辺とを持つ長方形状のレンズ断面を有する複数のレンズ素子(50a)の短辺同士を隣接して配列した第1及び第2の段(n1 ,n2 )を備える。これら第1及び第2の段は、互いに隣接して配列されると共に、第1の段における短辺の位置が第2の段におけるそれとは長辺に沿った方向で異なるように配列される。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源からの光束に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータから射出される光束を集光して所定の面を重畳的に照明するコンデンサ光学系とを有し、前記オプティカルインテグレータは、長辺と短辺とを持つ長方形状のレンズ断面を有する複数のレンズ素子の前記短辺同士を隣接して配列した第1及び第2の段を備え、前記第1及び第2の段は、互いに隣接して配列されると共に、前記第1の段における前記短辺の位置が前記第2の段における前記短辺の位置とは前記長辺に沿った方向で異なるように配列されることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 27/00 V ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 照明装置及び投写型表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-328585   出願人：セイコーエプソン株式会社