特許
J-GLOBAL ID：200903039339962188
欠け検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-313279
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160065
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 透過照明で位置補正基準を明確に計測できるような対象物について、その表面形状が複雑な場合でも微小な欠けから大きな欠けまで確実に検出することができる欠け検査装置を提供する。【構成】 検査対象物の反射画像を得るための反射光の照射を選択的に行う反射照明部と、撮像手段とは検査対象物を介して相対向する位置に設置され、かつ透過画像を得るための透過光の照射を選択的に行うとともに、反射照明部からの光の反射を抑制するための光量調整手段を有する透過照明部とが設けられ、反射照明部及び透過照明部のそれぞれ個別の駆動により得られる反射画像及び透過画像を画像処理することにより得られる画像データに基づいて検査対象物の良否判定を行う判定手段を有する。
請求項（抜粋）：
検査対象物の被検査面を撮像する撮像手段と、検査対象物の反射画像を得るための光の照射を選択的に行う反射照明部と、上記撮像手段とは検査対象物を介して相対向する位置に設置され、かつ透過画像を得るための光の照射を選択的に行うとともに、上記反射照明部からの光の反射を抑制するための光量調整手段を有する透過照明部と、上記反射照明部と透過照明部はそれぞれ個別に駆動するとともに、その個別の駆動により得られた上記反射画像及び透過画像を画像処理することにより得られる画像データに基づいて検査対象物の良否判定を行う判定手段を有する画像処理部とにより構成されてなる欠け検査装置。
IPC (2件)：
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