特許

J-GLOBAL ID：200903039342078701

搬送装置

発明者： 江口 和男
出願人/特許権者： テル・バリアン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136027
公開番号（公開出願番号）：特開平5-304198
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウエハなどを搬送する場合、搬送アームやウエハあるいは周囲の構造物の損傷を防止すること。【構成】 アルミニウムよりなる真空処理室1内に、アルミニウムよりなる多関節アームよりなる搬送アーム2が設置される。搬送アーム2の基台3と真空処理室1の底壁との間に絶縁物4を介在させると共に、基台3と前記底壁との間に直流電源6と抵抗61の直列回路を接続し、この直列回路に対して並列にフォトカプラFCを接続する。フォトカプラFCのトランジスタ63のエミッタ、コレクタ間に、トランジスタ63がオフのときに搬送アームの駆動部5に停止信号を出力する緊急停止回路64を設ける。

請求項（抜粋）：

搬送手段または被搬送物と周囲の構造物との接触を検知する手段と、この手段による前記接触の検知にもとづいて前記搬送手段の動作を停止させる駆動停止部とを設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 13/08 ,  B25J 18/00 ,  B25J 19/06 ,  B65G 49/07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-031632
  
• 特開昭63-091595
  
• 特開昭63-180824