特許

J-GLOBAL ID：200903039342666654

縦型熱処理装置用ロードロックチャンバー

発明者： 京極 光祐
出願人/特許権者： 日本エー・エス・エム株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-327614
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151559
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】 パーティクルを発生させ、チェンバーの汚染につながる潤滑油等を必要とする昇降構造物をロードロックチャンバーから排除した縦型熱処理装置用ロードロックチャバーを提供する。【構成】 被処理体を処理する処理チャンバー(1)の下に中間チャンバー(30)を設ける。中間チャンバー(30)を通して処理チャンバー(1)内に気密に挿入、取り出しすることができる被処理体を支持するボートテーブル(6)の下に支持台34を設ける。その支持台(34)は、外側に設けられたボールネジ(13′)により昇降する移動体上に載置され、ベローズ(22)が中間チャンバー(30)と移動体(12′)との間に取り付けられる。

請求項（抜粋）：

被処理体を支持する支持手段を、下から着脱自在に気密に挿入できる縦型熱処理装置の処理チャンバーの下方に配置され、上下に伸縮自在なロードロックチャンバーであって、該ロードロックチャンバーが、その外側に設けられた昇降手段により伸縮し、前記支持手段がロードロックチャンバーに取り付けられている、ところのロードロックチャンバー。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/324

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭58-149188
  
• 特開昭62-290126