特許
J-GLOBAL ID：200903039348786325

ステージ装置

発明者：
原 英明

原 英明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-172855
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005463
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 定盤に多少の傷がついても移動体の移動性能を損うことがないステージ装置を提供する。【構成】 セラミックス製の定盤12が使用されている。このため、従来の鉄製の定盤に比べ、軽量化及び高剛性化を図ることができ、第1、第2の移動体16、36の移動により容易に撓むことがなく、結果的に装置全体の機械的共振周波数が高くなる。例えば、定盤12がアルミナセラミックス製である場合には、重量は約半分(鉄の比重7. 8、アルミナの比重3.8)で剛性は1.85倍(鉄のヤング率:210GPa、アルミナのヤング率:390GPa)になる。また、定盤に傷がつき難く、仮に傷がついた場合でもいわゆるカエリが生じないため、定盤上面に沿って移動する第1、第2の移動体16、18の移動性能を損なうことがなくなる。
請求項（抜粋）：
定盤と、当該定盤上に固定された少なくとも1本のガイドバーと、前記定盤上面と前記ガイドバーに沿って所定の第1方向に移動可能な第1の移動体と、当該第1の移動体に案内されて前記定盤上を前記第1方向に直交する第2方向に移動可能な第2の移動体とを有するステージ装置において、少なくとも前記定盤がセラミックス製であることを特徴とするステージ装置。
引用特許：
審査官引用 (5件)
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