特許
J-GLOBAL ID:200903039350148611

静電力アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柏木 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-011748
公開番号(公開出願番号):特開平5-207760
出願日: 1992年01月27日
公開日(公表日): 1993年08月13日
要約:
【要約】【目的】 強誘電性材料の分極作用により移動子を移動させることにより、移動の際の動作速度を速め、作製が容易な静電力アクチュエータを提供する。【構成】 絶縁基板上に複数の電極9を有する固定子7を設け、この固定子7上に載置され強誘電性材料からなる移動子8を設けた。
請求項(抜粋):
絶縁基板上に複数の電極を有する固定子と、この固定子上に載置され強誘電性材料からなる移動子とよりなることを特徴とする静電力アクチュエータ。

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