アレイ基板、液晶表示装置及びそれらの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-042391
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307305
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】信頼性を確保しつつ、十分な膜厚を有し、しかも、コンタクト・ホール部で導電層の段切れが生じないような層間絶縁膜を有する液晶表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】窒化珪素や酸化珪素に代表されるような無材料膜は、透湿性が少なく、液晶表示装置の信頼性を確保することができる。また、アクリル樹脂などの有機材料膜は、厚膜化が容易であり、クロス・トークやカップリング容量を低減するとともに、表面の平坦化を容易に実現するものである。このような無機材料膜と有機材料膜との積層構造を採用することにより、信頼性が高く、厚い層間絶縁層を容易に形成することができる。しかも、本発明によれば、コンタクト・ホール内壁面の傾斜角度を緩和することができ、100nm以下のような薄い導電層でも段切れを起こすことが無くなる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に設けられた半導体層と、前記半導体層の上に選択的に設けられた第1の導電層と、前記半導体層の上に設けられ、無機材料からなる第1の層間絶縁層と、前記第1の導電層および前記第1の層間絶縁層の上に設けられ、有機材料からなる第2の層間絶縁層と、前記第2の層間絶縁層の上に設けらた第2の導電層と、を備え、前記第2の層間絶縁層は、前記第1の導電層の表面まで貫通する開口を有し、前記開口は、テーパ状の内壁面を有し、前記開口の内壁面においては、前記第2の層間絶縁層の前記有機材料が前記第1の層間絶縁層を完全に被覆しているものとして構成され、前記第2の導電層は、前記開口を介して前記第1の導電層に接続されていることを特徴とするアレイ基板。

IPC (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1343 , H01L 21/28

FI (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1343 , H01L 21/28 V

引用特許：

審査官引用 (5件)

アクティブマトリクス基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-347349 出願人：ソニー株式会社
電気光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-031453 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
層間膜の平坦化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-095789 出願人：ソニー株式会社

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