特許

J-GLOBAL ID：200903039360279919

探針部の製造方法およびカンチレバーの製造方法

発明者： 鈴木 美彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-004775
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201978
出願日： 1998年01月13日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、走査型原子間力顕微鏡等に使用される微細な探針部の製造方法に関し、従来に比べ大幅に先鋭化することができる探針部の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 半導体基板に探針部を形成する探針部形成工程と、探針部をイオンビームエッチングにより先鋭化する先鋭化工程と、探針部の表面を酸化する酸化工程と、探針部の表面に形成された酸化膜を除去する酸化膜除去工程とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体基板に探針部を形成する探針部形成工程と、前記探針部をイオンビームエッチングにより先鋭化する先鋭化工程と、前記探針部の表面を酸化する酸化工程と、前記探針部の表面に形成された酸化膜を除去する酸化膜除去工程と、を有することを特徴とする探針部の製造方法。