特許

J-GLOBAL ID：200903039374594760

物体表面の欠陥検査方法および装置

発明者： 山田 茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-180099
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004552
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 高い欠陥検出能力を備え、検出処理時間の短縮と装置コストの低減を図る物体表面の欠陥検査方法および装置を提供する。【解決手段】 物体表面に対して副走査方向に幅を持つ照明光4を照射する照明する手段1と、物体表面の被照明領域から光電変換手段5によって得られた画像信号をアナログ信号からデジタル信号に変換する手段7と、少なくとも検出すべき最小欠陥の副走査方向の幅分の走査線に対応するデジタル信号の画像データを記憶する手段8と、欠陥部分に対応する画像データのみを抽出する欠陥検出手段9〜12と、を有する。

請求項（抜粋）：

円筒状物体表面を走査してその表面上に存在する欠陥を検査する物体表面の欠陥検査方法であって、物体表面に対して副走査方向に幅を持つ照明光を照射する工程と、物体表面の被照明領域から光電変換手段によって得られた画像信号をアナログ信号からデジタル信号に変換する工程と、少なくとも検出すべき最小欠陥の副走査方向の幅分の走査線に対応するデジタル信号の画像データを記憶する工程と、欠陥部分に対応する画像データのみを抽出する欠陥検出工程と、を有することを特徴とする物体表面の欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H04N 7/18

FI (3件)：

G01N 21/88 635 ,  G01B 11/30 A ,  H04N 7/18 B

Fターム (44件)：

2F065AA49 ,  2F065BB06 ,  2F065BB08 ,  2F065BB16 ,  2F065CC00 ,  2F065DD00 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065GG16 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL28 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ07 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ45 ,  2F065RR05 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CD04 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051ED08 ,  5C054AA01 ,  5C054AA05 ,  5C054CA04 ,  5C054CC03 ,  5C054EA01 ,  5C054FC05 ,  5C054HA01 ,  5C054HA05