特許

J-GLOBAL ID：200903039379345157

溝状構造を平坦化する方法

発明者： ロタール ヴェーバー ,  モニカ ロルコフスキー ,  クラウス-ミヒャエル マイアー
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337127
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235835
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【構成】 溝状構造(14)中へプレポリマー(24)を選択的に充填し、このプレポリマー(24)を硬化させ、引き続き膨潤させることを特徴とする溝状構造を平坦化する方法。【効果】 比較的深い溝状構造でさえ、簡単に、十分に平滑な平坦化が可能となる。

請求項（抜粋）：

溝状構造を充填することにより溝状構造を平坦化する方法において、溝状構造(14)中へプレポリマー(24)を選択的に充填し、このプレポリマー(24)を硬化させ、引き続き膨潤させることを特徴とする溝状構造を平坦化する方法。